《半导体材料与器件表征技术》是由施罗德所著的一部学术著作，于2008年由大连理工大学出版社出版发行。本书深入探讨了现代半导体产业中对半导体材料和器件的表征技术，涵盖了广泛的电学、光学测试方法，以及涉及半导体材料特性的物理和化学分析方法。
内容简介
《半导体材料与器件表征技术》不仅阐述了测量过程中的物理学原理及其影响因素，还结合了作者自身及其他专家的经验，提供了具体的实验操作指南，并指出了各种测量方法的优缺点和注意事项。新版书籍经过修订和扩充，新增了许多成熟的表征技术，包括利用扫描探针检测硅晶圆中的金属杂质，以及采用微波反射技术实现非接触式电阻测量等。
此外，新版书籍还引入了可靠性评估和探针显微技术的新内容，增补了大量的实例和练习题目，重新绘制并修正了500张图表，更新了超过1200条参考资料，并选择了更为实用的计量单位体系。该书适用于硕士、博士研究生的学习，同时也可供高等院校教师和半导体行业研究者参考。
作者简介
施罗德（DIETER K.SCHRODER），现任教于亚利桑那州立大学电子工程系，荣获该校工程学院颁发的教学卓越奖项。他还是一位多产的学者，其代表作品之一就是《现代MOS器件》一书。
参考资料
大连理工大学出版社.好发表.2024-09-13
半导体材料与器件表征技术 .中国科学院知识服务平台 .2024-09-13
半导体材料与器件表征技术.豆瓣读书.2024-09-13